Полное описание

G2/18437
Konermann, J. B. Neuartige Derivate der Orthokieselsaure und deren Anwendbarkeit zur Abscheidung oxidischer Schichten in CVD-Prozessen : Diss. / J.B.Konermann. - K@:oln : [s. n.], 1993. - 126 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.124-126

ГРНТИ	УДК
31.21.21	547.245(043)

Рубрики:
Кремнийорганические соединения

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽