Полное описание

G2/17949
Frey, H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H.Frey. - dusseldorf : VDI-Verl., 1992. - 131 S. : Ill. - ISBN 3-18-401069-4 : 40000 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.123-129.Указ.:с.130-131

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Полупроводники -- Ионное внедрение

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽