Полное описание

G2/17621
Krause, J. Entwicklung und Verifikation einer Methode zur akustomikroskopischen Schichtdickenmessung an Mehrschichtsystemen : Diss. / J.Krause. - Hannover : [s. n.], 1992. - 65 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.48-50

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382:658.562(043)

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Технический контроль

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽