Полное описание

G2/17430
Zimmermann, U. LEED- und NEXAFS- Untersuchungen zur gezielten Herstellung molekularer Epitaxieschichten auf Halbleitersubstraten : Diss. / U.Zimmermann. - Stuttgart : [s. n.], 1992. - 192 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.186-192

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002(043)

Рубрики:
Полупроводники -- Производство

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽