Полное описание

G2/17370
Kurten, H. Selektive Silizium-Niederdruck-Gasphasenepitaxie : Diss. / H.K@:urten. - Aachen : [s. n.], 1991. - II,128 S. S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.119-128

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Производство

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽