Полное описание

G2/17298
Salehomoum, F. Kinetik der SiC-Abscheidung aus der Gasphase bei 750 bis 900o C und 1 bar Gesamtdruck : Diss. / F.Salehomoum. - Aachen : [s. n.], 1991. - 85 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.78-85

ГРНТИ	УДК
61.31.47	661.665.1(043)

Рубрики:
Кремний, карбиды -- Производство

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽