Полное описание

G2/16835
Eguchi, N. Untersuchung von Kontaminationsreaktionen bei PVD-Prozessen in einer UHV-Magnetronsputteranlage mit In-situ-AES-Analyse und plasmaanalytischen Methoden : Diss. / N.Eguchi. - Stuttgart : [s. n.], 1991. - 90 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.87-90

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.74(043)
55.20.15

Рубрики:
Металлизация плазменная

Кл.слова (ненормированные): плазменная металлизация
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽