Полное описание

G2/16223
Adamski, C. Epitaktisches CoSi2 als Leitbahn- und Kontaktmaterial fur grossintegrierte Schaltungen : Diss. / C.Adamski. - Hannover : [s. n.], 1990. - 103 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.99-101

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(043)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Металлизация

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽