Полное описание

G2/16107
Kolbe, M. Untersuchung der elektrischen Eigenscaften dunner Schichten grosser Versetzungsdichte in Silizium mit einem Rasterelektronenmikroskop : Diss. / M.Kolbe. - K@:oln : [s. n.], 1990. - 101 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.98-101

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.216.2(043)

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Электрические свойства

Кл.слова (ненормированные): кремниевая ~пленка
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽