Полное описание

G2/15028
Grundmann, D. UV-stimuliertes Wachstum von III-V-Halbleiterschichten im Niedrigdruck-MOCVD-System : Diss. / D.Grundmann. - Aachen : [s. n.], 1989. - 118 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.106-118

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-416.002(043)

Рубрики:
Полупроводниковые пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые пленки
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽