Полное описание

Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputterdeposition technologies of thin films. 1.Formulation of the problem / A.A.Fursenko,T.A.Khantuleva,Yu.N.Makarov,M.S.Ramm. - St-Petersburg : [б. и.], 1992. - 46 p. - (Препринт / Физико-техн.ин-т им.А.Ф.Иоффе(Ленинград) ; 1595/1). - 220 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19	539.23(04)

Рубрики:
Пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКА -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Fursenko, A.A.
Khantuleva, T.A.
Makarov, Yu.N.
Ramm, M.S.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/14715/1595/1)

Шифр в сводном ЭК: 9f34130ff4534a02a8041ee618cceb5e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа