• ВХОД
  •  

    Полное описание

    НИИ электрофизической аппаратуры им. Д.В.Ефремова (Санкт-Петербург).
    Обзор. - СПб. : [б. и.], 20 - . - Текст : непосредственный.
    О-104 : Плазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях / Д. А. Карпов, В. Н. Литуновский. - 2009. - 62 с. : ил. - Библиогр.: с. 57-62 (86 назв.). - 80 экз. - ISBN 5-87911-095-8

    ГРНТИ УДК
    55.22.19621.793.184
    55.20.15621.793.74

    Рубрики:
    Ионное внедрение
    Металлизация плазменная

    Доп. точки доступа:
    Литуновский, В.Н.
    НИИ электрофизической аппаратуры им. Д.В.Ефремова(Санкт-Петербург)
    Экз-ры полностью 9e4de0dd386e271519530b7adb1d0273
    Имеются экземпляры в отделах: всего -20100805 : ПНТ (-20100805)
    Свободны: ПНТ (1)
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/60581/О-104)

    Шифр в сводном ЭК: 9e4de0dd386e271519530b7adb1d0273



    Заказ фрагмента документа ₽