Полное описание

Suzuki, A. Role of higher solanes in process for hydrogenated amorphous silicon films / A.Suzuki. - Tsukuba : [s. n.], 2000. - 64 p. : ill. - (Researches / Electrotechn.lab., ISSN 0366-9106 ; n992). - Текст : непосредственный.
Текст яп.Рез.англ.Библиогр.в конце ст.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ПЛЕНКА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/1872/992)

Шифр в сводном ЭК: 9ce41aeb6bbaaedb15bf1ced478eb477

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽