Полное описание

Быкадорова, Г. В.
Математическое моделирование технологических процессов в микроэлектронике : учеб.пособие для студентов вузов / Быкадорова Г.В.,Битюцкая Л.А.,Гольдфарб В.А.;Под общ.ред.И.С.Суровцева. - Воронеж : [б. и.], 19 - . - В надзаг.:Воронеж.гос.ун-т, Центр.-Чернозем.филиал содействия развитию науч.-техн.предпринимательства в высш.шк... - Текст : непосредственный.
Ч. 1 : Диффузия. - 1997. - 116 с. : ил. - Тираж Не указ. - ISBN 5-85813-097-6

Библиогр.:с.110 (14 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.001.57

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Моделирование

Доп. точки доступа:
Битюцкая, Л.А.
Гольдфарб, В.А.

Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/15920/1)

Шифр в сводном ЭК: 9c7acbd30802ec83f678cb1a60a2905b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽