Полное описание

European workshop on materials for advanced metallization (Sigtuna). Proceedings of the 5th European workshop on materials for advanced metallization, Sigtuna, Mar. 5-7, 2001 / Ed.: M.Ostling ; European workshop on materials for advanced metallization (Sigtuna). - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2002. - 294 p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; 2002, Vol.60, N 1/2) ; 2002. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84:621.793(062)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Металлизация -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Zhang, S-L.\ed.\
Ostling, M.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/2002, Vol.60, N 1/2/2002)

Шифр в сводном ЭК: 9c2fe7b574d1aad8888fe2720a59befd