Полное описание

NANOLITHOGRAPHY: a borderland between STM,EB,IB,and X-ray lithographies : proc.of the NATO advanced research workshop on NANOLITHOGRAPHY...Roma,Apr.6-8,1993 / ed. M. Gentili. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 1994. - VIII,215 p. p. : ill. - (NATO advanced study institutes series. Ser.E, Applied sciences ; vol.264). - ISBN 0-7923-2794-2. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.213,215

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84:776(062)

Рубрики:
Электронолитография -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Gentili, M.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/9632/264)

Шифр в сводном ЭК: 9a3746792999e7ab0c59d93731cb8662

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽