Полное описание
>
Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / Камлюк В. С. - Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. - 267 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/125423.html (дата обращения: 11.04.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART, https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595 (дата обращения: 25.04.2024) . - Режим доступа: Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация. - Библиогр.: с. 263-264. - ISBN 978-985-895-032-3. - Текст : электронный.Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.
УДК | |
621.315 |
ББК | |
32.844 |
Кл.слова (ненормированные): АТТЕСТАЦИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- НАЛАДКА -- ПОЛУПРОВОДНИК -- РЕГУЛИРОВКА -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- УЧЕБНИК ДЛЯ СРЕДНИХ СПЕЦИАЛЬНЫХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ
Аннотация: В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
Доп. точки доступа:
Камлюк, Д. В.
https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595
Держатели документа:
Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : 143405, Московская область, г. Красногорск, ш. Ильинское, д. 1А, помещ. 17,6/ком. 5 (Шифр в БД-источнике (IPRBOOKS): 125423)
ЭБС Университетская библиотека онлайн : 117342, г. Москва, ул. Обручева, д. 34/63, стр. 3 (Шифр в БД-источнике (BIBLIO): 697595)>
Шифр в сводном ЭК: 9723a37bbcad2f43b8e6e7ac9c6de20e
Просмотр издания ЭБС IPR SMART
или
Просмотр издания Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация