Полное описание

Королев, А. Н. Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / А. Н. Королев. - Таганрог, 1998. - 36 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. Библиогр.:с. 30-35 (42 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002:669(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-1743)

Шифр в сводном ЭК: 95c990d6af5c885cba681c9a36b4d881

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽