Полное описание

Румак, Н. В. Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н.В.Румак,В.В.Хатько;Под ред.В.Е.Борисенко. - Минск : Навука i тэхнiка, 1990. - 191 c. : ил. - 1450 экз. - ISBN 5-343-00540-3. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:АН БССР. Физ.-техн. ин-т. Библиогр.: с. 181-189 (225 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76-416

Рубрики:
Пленочная микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНОЧНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Доп. точки доступа:
Хатько, В.В.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-90/70055)

Шифр в сводном ЭК: 95a8ac3d216db4f22981b92e3ca45ee3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа