Полное описание

International conference on materials for advanced technologies (6 ; 2011 ; Suntec City). Selected papers from the nanoscale imaging, fabrication and materials modification using ion beams symposium - ICMAT 2011 : and selected papers from the 2011 13th SEMATECH surface preparation and cleaning conference, Austin, Tx, Mar. 21-23, 2011 / ed.: J. van Kan, A. Bettiol ; Ed.: J. van Kan, A. Bettiol. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2013. - 105 p. : ill. - (Microelectronic engineering ; 2013, Vol. 102). - Библиогр. в конце ст. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.09	620.22(063)

Рубрики:
Материалы -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Kan, J. van\ed.\
Bettiol, A.\ed.\
SEMATECH surface preparation and cleaning conference (13 ; 2011 ; Austin, Tx)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/2013, Vol. 102)

Шифр в сводном ЭК: 9529c6bdf2229a4bc9dad5499044e3b3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽