Полное описание

95/153
Многослойные резистные системы для микролитографических процессов профилированных поверхностей подложек / ВЦП. - [Б. м. : б. и.]. - 11 c. : ил. - нем. - Пер. ст. Mehrschicht-Resist-System e fur Microlithografieprozesse von profilierten Substratoberflochen / B. Spangeberg, Danew из журн.: // Nachrichtentechnik-Elektronik. - 1987. - Vol. 37, N12. - P.471-473. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:17 назв.
ГРНТИ 47.13.17

Рубрики:
Фоторезисты

Кл.слова (ненормированные): микролитография -- резистивная структура -- проводящие линии -- многослойная структура
Доп. точки доступа:
Spangeberg, B.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия: мкф.

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽