Полное описание

Корольков, В. П. Лазерные литографические системы и технологии синтеза рельефно-фазовых оптических элементов : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 01.04.05 / В. П. Корольков. - Новосибирск, 2013. - 44 с. - Библиогр.: с. 35-44. - 120 экз. - .

ГРНТИ	УДК
81.37.13	681.7.06.02(043)

Кл.слова (ненормированные): ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : г. Москва, ул. 3-я Хорошёвская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-5613)

Шифр в сводном ЭК: 947878e2da1a91efaced2a2dd40aed70

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽