Полное описание

Полупроводниковые тонкопленочные газовые сенсоры / Н. К. Максимова [и др.] ; Нац. исслед. Том. гос. ун-т. - Томск : НТЛ, 2016. - 163 с. : ил. - Библиогр.: с. 151-157 (39 назв.). - 200 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
59.35	543.27.08

Рубрики:
Газоанализаторы

Аннотация: В моногpафии рассмотрены научные основы создания газовых сенсоров на основе тонких пленок металлооксидных полупроводников, предназначенных для детектирования ряда восстановительных и окислительных газов. Обобщены результаты оригинальных комплексных исследований микроструктуры, электрических и газочувствительных характеристик нанокристаллических пленок диоксида олова и триоксида вольфрама с добавками каталитических благородных металлов, полученных методами магнетронного напыления. Анализ экспериментально установленных закономерностей с использованием развитых теоретических представлений позволил уточнить механизмы проводимости и откликов сенсоров, модифицированных катализаторами Pt, Рd, Аu. Рассмотрены возможные подходы к повышению значений адсорбцонного отклика селективности и стабильности параметров миниатюрныx полупроводниковых сенсоров.
Доп. точки доступа:
Максимова, Н.К.
Севастьянов, Е.Ю.
Сергейченко, Н.В.
Черников, Е.В.
Национальный исследовательский Томский гос. ун-т

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-16/40611)

Шифр в сводном ЭК: 92b007c41eedaebbdc25fa4d13d5c875

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽