Полное описание
> Корольков, В. П. Лазерные литографические системы и технологии синтеза рельефно-фазовых оптических элементов : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 01.04.05 / В. П. Корольков. - Новосибирск, 2013. - 44 с. - Библиогр.: с. 35-44. - 120 экз. - .
ГРНТИ | УДК | |
81.37.13 | 681.7.06.02(043) |
Кл.слова (ненормированные): ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : г. Москва, ул. 3-я Хорошёвская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-5613)>
Шифр в сводном ЭК: 92652a0c09718fd1ac06f24c2305f359
Заказ фрагмента документа ₽