Полное описание

Процессы плазменного и ионно-лучевого напыления и модифицирования поверхности твердых тел / ВЦП. - 24 с. : ил. - Пер.ст. Scichtaufbau und Oberflachenmodification durch plasma-und ionengestutzte prozesse / J. Engemann из журн.: // Galvanotechnik. - 1990. - Vol. 81, N 1. - P.91-100. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ 81.35.33

Рубрики:
Плазменная обработка материалов
Электронная обработка материалов

Кл.слова (ненормированные): ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Engemann, J.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 06927002271)

Шифр в сводном ЭК: 91fee4d26be95accc63ae44e58c7f99c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа