Полное описание

91603
Остертак, Д. И. Микроэлектромеханика : учебное пособие / Остертак Д. И. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2016. - 121 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/91603.html (дата обращения: 11.04.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART. - ISBN 978-5-7782-2901-3 : Б. ц.

Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

	УДК
	621.314

	ББК
	32.85

Кл.слова (ненормированные): вязкое демпфирование -- демпфирование колебания -- механическая система -- микроэлектромеханика -- плоскопараллельный актюатор -- пьезоэлектрический преобразователь -- резонансная частота -- частота колебаний -- электромагнитный преобразователь -- электростатический преобразователь
Аннотация: Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания, код проекта 629, тема проекта: «Теория построения и практическая реализация широкополосных микроволновых устройств, предназначенных для использования в измерительном оборудовании цифровых систем телевидения, связи и телекоммуникаций, включая вычислительные системы».
Перейти к просмотру издания
Обложка книги

Просмотр издания ЭБС IPR SMART