Полное описание

Шаповалов, В. И. Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. И. Шаповалов. - СПб., 2008. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-32. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.31	621.315.612.8-416(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар08-5086)

Шифр в сводном ЭК: 90a60346084030d9495bb36c52056520

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽