Полное описание

Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие / Л. Н. Маскаева [и др.] ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б. Н. Ельцина, Химико-технологический институт. - Екатеринбург : Изд-во Урал. ун-та, 2018. - 129, [3] с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 131-132. - 50 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23

Рубрики:
Полупроводниковые пленки -- Производство

Доп. точки доступа:
Маскаева, Л.Н.
Марков, В.Ф.
Форостяная, Н.А.
Туленин, С.С.
Федорова, Е.А.
Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б. Н. Ельцина (Екатеринбург). Химико-технологический институт

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-18/65618)

Шифр в сводном ЭК: 904895057317457489bee8e7b996ef4c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽