Полное описание

Методы трехкоординатного образования микроструктуры с помощью эксимерных лазеров / ВЦП. - 12 c. : ил. - Пер.ст. Verfahren der 3D-Mikrostrukturierung mit Excimerlasern / H. K. Tonshoff, J. Mommsen из журн.: // Laser und Optoelektronik. - 1992. - Vol. 24, N 1. - P. 64-67. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: 7 назв.
ГРНТИ 55.20.15

Рубрики:
Лазерная обработка материалов

Кл.слова (ненормированные): КОНТРОЛЬ -- ЛАЗЕР -- МАСКА -- МИКРОСТРУКТУРА -- ОБРАБОТАННАЯ ПОВЕРХНОСТЬ -- СЛОИ -- СЪЕМ -- ФОРМООБРАЗОВАНИЕ -- ЧПУ -- ЭВМ
Доп. точки доступа:
Tonshoff, H. K.
Mommsen, J.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 06925003814)

Шифр в сводном ЭК: 8f9eaac936ff0cf0161a72c562558abe

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽