Полное описание

Радаев, А. А. Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. А. Радаев. - 1994, Б. г. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.энерг.ин-т (техн.ун-т). Библиогр.: с.19-20 (8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-704)

Шифр в сводном ЭК: 8e58c0e44ee6df7bb46871e6fa48d569

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽