Полное описание

Беседина, К. Н. Разработка методов управляемого формирования и исследование тонкопленочных опаловых наноструктур / К. Н. Беседина. - 2014. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (11 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76(043)
	621.38-022.532(043)

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ОПАЛОВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ
Аннотация: Показана разработка научных основ управляемого формирования заданной геометрии матриц тонких опаловых пленок для их использования в изделиях микро- и наноэлектроники.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-10903)

Шифр в сводном ЭК: 8d4d81a63182adaddb438b7c85fae6b3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽