Полное описание

Журнал
Journal of Vacuum Science and Technology. Ser.B, Microelectronics Processing Phenomena. - New York, NY : American Vacuum Society. - Выходит раз в два месяца. - ISSN 0734-211X. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ + 29.19 + 47.09 + 81.09

Аннотация: Статьи, обзоры, в т.ч. критического характера, сообщения, краткие отчеты и комментарии по теоретическим и прикладным проблемам использования вакуумных систем и технологий в науке и технике. Часть В посвящена микроэлектронике и наноразмерным структурам: исследования структуры и свойств материалов (тонкие пленки, фотонные кристаллы, металлы и сплавы, полупроводники, наноструктуры, нанокомпозиты и др.); структура, топография, свойства, обработка поверхностей, микро- и нанолитография; вакуумметрия; методы электронной микроскопии; физика плазмы, устройства, плазменные технологии; проектирование, моделирование, производство наноструктур, компонентов и систем вакуумной микро- и наноэлектроники; применение вакуумной техники.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8873)

Записей номеров в Каталоге: 49

Год Том Номера 1 2 3 4 5 6 1993 11   1995 13 1996 14 1997 15 1998 16           1999 17 2000 18 2001 19 2002 20 2003 21