• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Журнал
    Journal of Vacuum Science and Technology. Ser.B, Microelectronics Processing Phenomena. - New York, NY : American Vacuum Society. - Выходит раз в два месяца. - ISSN 0734-211X. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ + 29.19 + 47.09 + 81.09

    Аннотация: Статьи, обзоры, в т.ч. критического характера, сообщения, краткие отчеты и комментарии по теоретическим и прикладным проблемам использования вакуумных систем и технологий в науке и технике. Часть В посвящена микроэлектронике и наноразмерным структурам: исследования структуры и свойств материалов (тонкие пленки, фотонные кристаллы, металлы и сплавы, полупроводники, наноструктуры, нанокомпозиты и др.); структура, топография, свойства, обработка поверхностей, микро- и нанолитография; вакуумметрия; методы электронной микроскопии; физика плазмы, устройства, плазменные технологии; проектирование, моделирование, производство наноструктур, компонентов и систем вакуумной микро- и наноэлектроники; применение вакуумной техники.
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8873)

    Записей номеров в Каталоге: 49
    ГодТомНомера
    123456
    199311 
    199513
    199614
    199715
    199816     
    199917
    200018
    200119
    200220
    200321