Приложение
для AndroidПолное описание
Журнал
Microelectronic Engineering. - Amsterdam : Elsevier Science Publ., 1983 ((+31) 5862 911) - Периодичность . - ISSN 0167-9317. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК
47.33 621.3.049.76
47.09.48
РУБ
09
Кл.слова (ненормированные): Нанотехнологии -- Наноэлектроника
Аннотация: Статьи, обзоры, краткие сообщения и письма в редакцию по результатам исследований в области интегральной микроэлектроники - передовые методы микро- и наноизготовления электронных устройств, схем и систем для электроники, электромеханики и биоэлектроники: оптическая нанолитография и формирование нанорельефа; передача изображений (ионная технология, плазменная обработка (травление, нанотекстурирование, соединение); материалы (металлизация и барьерные материалы, новые резистные материалы, наноматериалы для устройств, блок-сополимеры, полимеры и гибкие субстраты); нанометрология, контроль и тестирование; перспективные методы обработки и наноизготовление (трехмерная интеграция, быстрая термальная обработка, моделирование процессов и оборудования, самосборка и др.); усовершенствованные устройства (наноизмерительные устройства для электроники и наноэлектроники, МОП, вакуумная наноэлектроника, органическая и молекулярная электроника, мезоскопические устройства, микро- и наножидкости, миниатюризованные устройства для химии, биологии, медицины); передовое производство и характеризация гетерогенных микро- и наносистем (электромеханические системы (МЭМС, НЭМС), оптические системы, жидкие системы, биосистемы, лаборатория-на-чипе). Отдельные выпуски - сборники материалов конференций.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956)
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): vr=M395732)Записей номеров в Каталоге: 105