Полное описание
> Шляхова, А. Г. Быстродействующий калориметрический метод контроля примеси в полупроводниковых материалах : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.11.13 / А. Г. Шляхова. - Казань, 2007. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16(12 назв.). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.09.29 | 621.315.592:543.226(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-6646)>
Шифр в сводном ЭК: 8a363a0ec718903ded4957d1ae0a3121
Заказ фрагмента документа ₽