Полное описание

Новиков, Ю. А. About accuracy of dimensions measurements of microrelief elements in an SEM / Ю.А.Новиков,А.В.Раков. - Moscow : [s. n.], 1996. - 9 p. : il. - (Препринт / Институт общей физики(Москва) ; 3(1996)). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.08(04)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Параметры -- Измерение

Доп. точки доступа:
Раков, А.В.
Rakov A.V.
Novikov Yu.A.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/42285/3(1996))

Шифр в сводном ЭК: 8837a37000497b9cb9527a0fe1232f93

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽