Полное описание

Freiberger, R. Realisierung eines hochauflosenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlangen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen : специальность "" : диссертация на соискание ученой степени / R. Freiberger ; Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule (Aachen), Fakultat fur Mathematik, Informatik und Naturwissenschaften. - Aachen, 2017. - 193 l. : ill. - Библиогр.: с. 171-183 (108 назв.). - Тираж не указ. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.31.29	681.723(043)

Рубрики:
Микроскопы ультрафиолетовые

Доп. точки доступа:
Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule (Aachen). Fakultat fur Mathematik, Informatik und Naturwissenschaften

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/28938)

Шифр в сводном ЭК: 86e6021440f280ebaa41fc16ea340eb9

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽