Полное описание

Burbaum, C. Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik / C.Burbaum,J.Mohr. - Karlsruhe : [s. n.], 1991. - 64 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK ; N4859). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.,нем.Библиогр.:с.62-64

ГРНТИ	УДК
50.09.37	681.586'325

Рубрики:
Датчики ускорения

Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК
Доп. точки доступа:
Mohr, J.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/4859)

Шифр в сводном ЭК: 866c70168611052bcb97a1571bd27186

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽