Полное описание

Зятьков, И. И. Моделирование технологии формирования элементов интегральных схем : учеб.пособие / И.И.Зятьков,E.П.Юрченко. - СПб : [б. и.], 1995. - 46 c. : ил. - 120 экз. - ISBN 5-7629-0024-X. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:С.-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова(Ленина).Библиогр.:с.45(11 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77.001.57

Рубрики:
Интегральные схемы -- Производство -- Моделирование

Доп. точки доступа:
Юрченко, E.П.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-95/26418)

Шифр в сводном ЭК: 85f72a1b62fcbdbf55f6d4791abcd7a2

Заказать издание
Заказ фрагмента документа