Полное описание

Белянин, А. Ф. Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.27.06 / А. Ф. Белянин. - М., 2003. - 50 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 43-50(86 назв.)

ГРНТИ	УДК
29.37.25	621.3.049.76.002.3(043)
47.33.37	681.89.002.3(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар03-3642)

Шифр в сводном ЭК: 8377fe389531b8b9f9ecac0b73fb2c39

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽