Полное описание

Савкин, А. В. Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. В. Савкин. - М., 2002. - 24 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 23-24 (10 назв.)

ГРНТИ	УДК
67.53.25	697.9:621.38(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар03-13093)

Шифр в сводном ЭК: 828079d366805526eff74f903e638062

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽