Полное описание

Зенин, В. В. Физико-химические процессы в микросоединениях полупроводниковых изделий / В. В. Зенин, Ю. Е. Сегал, Б. А. Спиридонов. - Воронеж : [б. и.], 2003. - 168 с. : ил. - 150 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Ворон. гос. техн. ун-т.Библиогр.: с. 165-168 (31 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Соединения

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР -- СОЕДИНЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Сегал, Ю.Е.
Спиридонов, Б.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-03/94342)

Шифр в сводном ЭК: 80ca1592e1008f8c1eb203eb02c14b4b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽