Полное описание

Царегородцев, А. В. Разработка системы управления процессом формирования пучков заряженных частиц в задачах ионно-плазменного напыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.01 / А. В. Царегородцев. - М., 1999. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 15-16(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.184(043)
	621.793.74(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-6211)

Шифр в сводном ЭК: 7fec6ec4191e3f101bc9b8d5914601c4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽