Полное описание

Колпаков, В. А. Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.01 / В. А. Колпаков. - Самара, 2010. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 26-32 (54 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.37.09	681.7.03(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-14899)

Шифр в сводном ЭК: 7e8d9090711217fa3403b5fe942f42aa

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽