• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Физико-технологический институт им. К. А. Валиева (Москва).
    Труды ФТИАН / Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К. А. Валиева ; главный редактор В. Ф. Лукичёв. - Москва : Наука, 1991 - . - ISSN 0868-7129. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    Т. 31 : Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника / ответственный редактор Т. М. Махвиладзе. - 2023. - 131, [3] с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - 550 экз. - ISBN 978-5-02-040972-9. - DOI 10.7868/9785020409729

    ГРНТИ УДК
    50.33.39004:530.145
    47.33.37621.3.049.76
    621.38-022.532

    Рубрики:
    Квантовые компьютеры
    Микроэлектроника
    Наноэлектроника

    Кл.слова (ненормированные): ИОННАЯ ЭЛЕКТРОМИГРАЦИЯ -- КВАНТОВЫЕ ТОЧКИ -- МЕМРИСТОРЫ -- МИКРОРЕЗОНАТОРЫ -- СПЕКТРАЛЬНАЯ ИНЖЕНЕРИЯ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
    Аннотация: Том 31 Трудов ФТИАН посвящен актуальным проблемам технологии нано- и микроэлектроники. В сборник включены статьи, в которых представлены последние результаты сотрудников института по разработке физических основ, моделированию и оптимизации процессов формирования, функционирования и технологии изготовления перспективных элементов, структур, приборов и устройств нано- и микроэлектроники, их деградации и долговечности в ходе эксплуатации. Большое внимание уделено, в частности, результатам, относящимся к исследованию устойчивости интерфейсных структур, которая во многом определяет время жизни актуальных планарных и объемных ИС в условиях сильного электромиграционного массопереноса и механических воздействий.
    Доп. точки доступа:
    Лукичёв, Владимир Федорович\ред.\
    Лукичев, В.Ф.
    Махвиладзе, Тариэль Михайлович\ред.\
    Физико-технологический институт им. К. А. Валиева(Москва)
    Экз-ры полностью 7d819598c8d02103d67039f1b8c68707
    Имеются экземпляры в отделах: всего -40461417 : ПНТ (-20230713), ХРЦ (-20230704)
    Свободны: ПНТ (1), ХРЦ (1)
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/14892/31)

    Шифр в сводном ЭК: 7d819598c8d02103d67039f1b8c68707



    Заказ фрагмента документа ₽