Полное описание

Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies: techniques, fundamentals and devices : сборник научных трудов / Ed.: O. Auciello, J. Engemann. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 1993. - 633 p. : ill. - (NATO advanced study institutes series. Ser.E, Applied sciences ; vol.234). - ISBN 0-7923-2265-7. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.631-633

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76-416(063)
47.01.13

Рубрики:
Пленочная микроэлектроника -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Auciello, O.\ed.\
Engemann, J.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/9632/234)

Шифр в сводном ЭК: 7cc62a41f8485218f3fc19808d34fc8a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа