Полное описание

Голубев, Н. Ф.
Радиационные процессы в микроэлектронике / Голубев Н.Ф.,Кучинский П.В.,Латышев А.В. - М. : [б. и.], 19 - . - На обл.авт.не указ... - Текст : непосредственный.
Ч. 1 : Физические основы и применение радиационно-термических процессов в технологии биполярных микроприборов. - 1991. - 43 с. : ил. - 185 экз.

Библиогр.:с.41-41(31 назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002
	621.3.049.76:539.16

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Микроэлектронные приборы -- Влияние ионизирующих излучений

Доп. точки доступа:
Кучинский, П.В.
Латышев, А.В.

Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/50818/1)

Шифр в сводном ЭК: 7a3f83732e8479ed9450e3fbe66e1dba

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽