Полное описание

Барченко, В. Т. Ионно-плазменные технологии в электронном производстве / В.Т.Барченко,Ю.А.Быстров,Е.А.Колгин;Под ред.Ю.А.Быстрова. - СПб. : Энергоатомиздат, с.-петерб. отд-ние, 2001. - 331 с. : ил. - 1000 экз. - ISBN 5-283-04744-X. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 319-329 (128 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.384.002

Рубрики:
Электронные приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Быстров, Ю.А.
Колгин, Е.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-01/62249)

Шифр в сводном ЭК: 79334b781f53b058025e3777df23f6bf

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽