• ВХОД
  •  

    Полное описание

    International conference on microelectronic test structures (1995 ; Nara). Papers presented at the IEEE International conference on microelectronic test structures,Nara,Japan,March 22-25,1995 / ICMTS'95 ; International conference on microelectronic test structures (1995 ; Nara) . - New York : [s. n.], 1996. - 152 p. : ill. - (Semiconductor manufacturing, ISSN 0894-6507 ; vol.9,N 1,1996). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей

    ГРНТИ УДК
    47.33.37621.3.049.76.001.4(063)

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Испытание -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Tomaki, Y.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W10554/Vol.9,N 1,1996)

    Шифр в сводном ЭК: 7819090e6f683bfdd82865e3b620c6f4



    Заказ фрагмента документа ₽