Полное описание
> International conference on microelectronic test structures (1995 ; Nara). Papers presented at the IEEE International conference on microelectronic test structures,Nara,Japan,March 22-25,1995 / ICMTS'95 ; International conference on microelectronic test structures (1995 ; Nara) . - New York : [s. n.], 1996. - 152 p. : ill. - (Semiconductor manufacturing, ISSN 0894-6507 ; vol.9,N 1,1996). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей
ГРНТИ | УДК | |
47.33.37 | 621.3.049.76.001.4(063) |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Испытание -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа:
Tomaki, Y.\ed.\
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W10554/Vol.9,N 1,1996)>
Шифр в сводном ЭК: 7819090e6f683bfdd82865e3b620c6f4
Заказ фрагмента документа ₽