Полное описание

Бабурин, А. С. Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. С. Бабурин. - 2019. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (11 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.33	621.383-022.532-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНОЕ ИСПАРЕНИЕ -- МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- НАНООПТОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОФОТОННЫЕ СТРУКТУРЫ И УСТРОЙСТВА -- ПЛЕНОЧНАЯ НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ПРОИЗВОДСТВО -- ТОНКИЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар19-4097)

Шифр в сводном ЭК: 775b07660a6939af536ea2c7e80db4c2

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽