Полное описание

Середин, Б. М. Основы технологии жидкофазной эпитаксии кремния в поле температурного градиента на подложках повышенного диаметра : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / Б. М. Середин. - Таганрог, 1990. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Таганрог. радиотехн. ин-т им.В.Д.Калмыкова. Библиогр.:с. 18-19(14 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382.026.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-09860)

Шифр в сводном ЭК: 7689a937d90bc4f52994a86b0f38070e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽